一种基于周期性交替供氧三路径协同调控的WO薄膜及其制备方法和应用

本发明提供了一种基于周期性交替供氧三路径协同调控的WO薄膜及其制备方法和应用。通过在磁控溅射过程中实施氧气流量的周期性交替调节，实现了对WO薄膜中氧空位、多孔形貌与非晶/纳米晶共存结构的三路径协同调控，显著提升了薄膜在水系电解质中的电致变色响应速率与循环稳定性。所制备的WO薄膜具有超过70％的光学调制幅度，着/褪色响应时间均低于0.03秒，CV曲线面积在500次循环后仍保持97％以上。本发明兼具优异的电化学性能、结构稳定性与绿色环保性，可广泛应用于水系智能窗、电致变色显示和可穿戴器件等领域。