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一种具有近红外表面等离子共振特性的铋/硅复合纳米结构的制备方法
발명유효
6청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
田野; 郭燕洁; 李子皿
IPC 분류
C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/16 (2006.01)
本发明属于纳米材料技术领域,且公开了一种具有近红外表面等离子共振特性的铋/硅复合纳米结构的制备方法,包括以下步骤;S1:准备待沉积衬底:选择衬底材料后并裁剪成1.5cm×1.5cm的方块;S2:清洗待沉积衬底:洁净沉积基底,保障结构附着与均匀性;S3:衬底加热:将清洗后的衬底置于磁控溅射仪的沉积腔内。本发明通过在真空环境下进行磁控溅射,交替沉积铋和硅,直接出包覆硅量子点的铋纳米棒结构,该结构以相对便宜的铋替代昂贵的金和银等贵金属材料,可有效降低制作成本,所用半导体介质层材料是最为常见的硅,其特性易于通过掺杂等手段调控,所形成的铋纳米棒/硅量子点复合结构在近红外区具有明显的表面等离子共振特性。
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