用于臭氧气体输送系统的预处理方法

本申请提供了一种用于臭氧气体输送系统的预处理方法，包括以下步骤：a）对臭氧气体输送系统进行惰性气体吹扫处理；b）对步骤a）处理后的臭氧气体输送系统进行多级臭氧气体吹扫处理；所述多级臭氧气体吹扫处理中臭氧气体的浓度逐级增加。本申请首先采用惰性气体对臭氧气体输送系统进行吹扫处理，去除系统中残留的水分、氧气及微颗粒杂质，然后采用臭氧气体分阶段浓度梯度吹扫，逐步钝化管壁内表面，减少氧化反应剧烈程度，控制颗粒释放，从而减少臭氧气体输送系统的颗粒释放、水分和氧残留、颗粒污染、腐蚀性反应、初始稳定性差及通流不连续等问题，提升臭氧输送系统的洁净水平和工艺可靠性，满足高端半导体制造的严格要求。