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기록
一种气体传输系统及薄膜沉积设备
발명유효
11조회수
11청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
殷奇; 谭宇琦; 王晓晨; 邵胜琦; 张琎
IPC 분류
C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/50 (2006.01)H10P 14/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)
本发明提供了一种气体传输系统及薄膜沉积设备。气体传输系统包括：第一管路，其第一端连接工艺腔室，而其第二端连接远程等离子系统；第二管路，其第一端连接第一反应气源，而其第二端经由第一接口连接到所述第一管路，其中，所述第一接口位于所述工艺腔室和所述远程等离子系统之间；以及第三管路，其第一端连接惰性气源，而其第二端经由第二接口连接到所述第一管路，其中，所述第二接口位于所述第一接口和所述远程等离子系统之间，并在所述第一反应气源向所述第一接口提供第一反应气体的过程中，向所述第二接口提供惰性气体，以阻止所述第一反应气体向所述远程等离子系统的反流。