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기록
一种高耐蚀光亮化学镀镍液及集成电路镀镍工艺
발명유효
9청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
吴仕祥; 阳慧
IPC 분류
C23C 18/34 (2006.01)H05K 3/18 (2006.01)
本发明公开了一种高耐蚀光亮化学镀镍液及集成电路镀镍工艺,涉及电子核心产业领域。其中,高耐蚀光亮化学镀镍液,包括水溶性镍盐、硼酸、柠檬酸钠、苹果酸、N,N’‑双(2‑羟乙基)乙二胺、N,N‑二乙基丙炔胺甲酸盐、糖精钠以及还原剂,通过水溶性镍盐、硼酸、柠檬酸钠、苹果酸、N,N’‑双(2‑羟乙基)乙二胺、N,N‑二乙基丙炔胺甲酸盐、糖精钠以及还原剂的共同配合,有利于细化镍晶粒,同时促进镍晶粒的均匀沉积,可实现镀层的光亮化,并降低镀层的孔隙率,有利于阻断腐蚀介质的渗透,从而提升集成电路基板的耐蚀性能。
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