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기록
蚀刻液组合物
발명유효
15청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
车敬雄; 权玳路; 申贤哲; 具受玄; 金荣光; 李相赫; 金龙会
IPC 분류
C23F 1/18 (2006.01)C23F 1/26 (2006.01)C23F 1/02 (2006.01)H10D 86/01 (2026.01)H10P 50/66 (2026.01)
本发明公开蚀刻性能优秀的蚀刻液组合物。根据一实施方式，提供蚀刻液组合物，其包含：过氧化氢5至25重量百分比；有机酸1至5重量百分比；含磷化合物(Phosphorus containing compound)0.001至5重量百分比；二醇系化合物1至5重量百分比；含氮环状化合物(Nitrogen containing cyclic compound)0.001至1重量百分比；具有一个以上的氯原子的临界尺寸偏差(Critical dimension bias)减少剂0.001至5重量百分比；以及氟化合物0.001至5重量百分比。
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