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기록
一种基于多源数据调控的电镀系统
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
王小华
IPC 분류
C25D 17/00 (2006.01)C25D 21/12 (2006.01)C25D 17/12 (2006.01)
本发明公开了一种基于多源数据调控的电镀系统,涉及电镀领域,包括电镀槽、螺旋环状阳极组件、调控驱动机构、多源数据监测模块和终端控制器,多源数据监测模块包括参比电极阵列、电流监测单元和温度监测单元,实时采集电镀过程参数,终端控制器基于监测数据执行动态调控策略,计算电流分布均匀性指标,并根据其与目标值的偏差智能调控阳极间隔,本发明通过螺旋环状阳极的可控伸缩设计与多源数据实时融合,实现了对电镀电流分布的动态精密调控,准确计算出反映镀层均匀性的关键指标,基于此指标与目标值的偏差,智能决策调整方向与幅度,使电镀过程始终自动维持在最优状态,解决了传统电镀技术依赖固定阳极结构与人工经验调整导致的均匀性差。
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