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一种从锌浸出渣中提纯锗并提拉单晶的集成工艺方法
발명유효
11조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
杨宇; 李中华; 张有军; 张海龙
IPC 분류
C30B 15/20 (2006.01)C30B 29/08 (2006.01)C22B 7/00 (2006.01)C22B 41/00 (2006.01)
本发明涉及单晶生长技术领域,公开一种从锌浸出渣中提纯锗并提拉单晶的集成工艺方法,包括:等径生长阶段周期性执行稳定生长期与瞬态扰动期步骤,稳定期监测驱动力矩信号;扰动期由时长或力矩漂移触发,通过同时且耦合地控制晶体与坩埚转速,改变其相对角速度在固液界面诱发瞬态扭转剪切应力,破坏杂质边界层,本发明通过协同控制产生精确作用于固液界面的扭转剪切应力,实现了对杂质边界层的靶向高效清除,避免了对熔体主体的剧烈扰动。