一种改善外延片少子寿命的工艺方法

本申请提供一种改善外延片少子寿命的工艺方法，步骤包括：获取传输腔和工艺反应腔的压力；计算传输腔与工艺反应腔之间的压力差，并判断所述压力差是否大于等于第一阈值；若是，控制晶圆从所述传输腔中传送至工艺反应腔中。本申请工艺方法，通过精确控制传输腔与工艺反应腔之间的压差以及工艺反应腔空闲状态下的压力波动，不仅可有效降低水汽污染风险，显著提升外延片少子寿命数值，而且还可消除机械手臂轮廓痕迹，以提高外延片的质量一致性和工艺稳定性。