一种低温真空泵及其使用方法

本发明公开了一种低温真空泵及其使用方法，包括真空罩、制冷机与控制盒；所述真空罩设置有吹扫阀；所述制冷机进行正转降温与反转降温，制冷机上设置有一级温度传感器与二级温度传感器；所述控制盒采集一级温度传感器与二级温度传感器的数据，控制吹扫阀的开启，控制冷机的开启与运行频率。本发明依靠制冷机反转加热及室温干燥氮气吹扫进行复温，能够使低温真空泵自动完成复温过程。