晶圆片切割设备中高转辊轴用内外同步冷却组件

本发明公开有晶圆片切割设备中高转辊轴用内外同步冷却组件，涉及轴承冷却技术领域，针对主轴与轴承件在高速旋转下的温度变化，具体针对轴承件的设置位置设置内外同步冷却过程，以液冷方式为基础原理，表现为：以低温冷却水作为冷媒沿主轴/轴承件环型方向进行全覆盖区域冷却动作，关键内容是维持轴承件内外轴圈冷却动作中的温度平衡状态，避免内外轴圈冷却过程中温差较大而出现异常状态，关键方案在于：以轴承件外圈位置的冷却过程作为轴承件内圈冷却过程中的“参照系”，以低温冷却水流动过程中的终点温度为参照变量、起点温度为参照定量，反向控制低温冷却水流动过程中的流速，避免轴承件内外轴圈存在大温度差。