流量控制机构、基板处理装置、半导体器件的制造方法及程序产品

本发明提供能够抑制异物向阀芯的附着的流量控制机构。流量控制机构具有阀芯和驱动部，所述阀芯被支承为能够以与在处理气体的流路内气体流动的方向相交的方向为轴进行旋转，所述流路的至少一部分由配管形成，所述阀芯被加热成温度高于所述配管，使所述阀芯的表面中的至少一部分的辐射率成为所述配管的内表面的辐射率以下，所述驱动部使所述阀芯旋转，使所述流路的开度变化。