干涉测量方法和干涉测量系统

本申请涉及光学检测技术领域，具体涉及一种干涉测量方法和干涉测量系统。由于采用待测物和标准模块同时进行干涉测量，在实现获取待测物目标参数的数据同时，还能够利用标准模块的干涉测量数据监控干涉仪系统的误差，这样在测量待测物时不需要反复进行标定，减少了测量时间，提高了生产效率。另外，由于标准模块和待测物同时进行干涉测量，干涉仪系统的测量标准模块和待测物被测量时，能够减小环境和整机状态变化对测量和解算的影响，即使干涉仪系统自身的参数有变化，对测量标准模块和待测物的影响也是同步的，这样系统误差监控更精准，待测物的测量结果更准确。