图形尺寸量测方法及系统、设备、存储介质及计算机程序产品

一种图形尺寸量测方法及系统、设备、存储介质及计算机程序产品，方法包括：提供设计版图，包括多个设计图形；获取设计版图对应的实际曝光结构的图像，图像包括多个曝光图形；根据将图像中的曝光图形与设计版图中对应的设计图形对准，获取图像在设计版图中的对准位置；基于对准位置，结合设计版图和图像，获取曝光图形在图像中的目标轮廓；通过目标轮廓获得曝光图形的尺寸。本发明有利于优化OPC模型以及提高预测性。