一种基于1.5D光栅尺和扫描版的二维位移测量传感器

本发明涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种基于1.5D光栅尺和扫描版的二维位移测量传感器。基于1.5D光栅尺和扫描版的二维位移测量传感器包括光栅尺和读头模块，通过正交排布的一维光栅，实现正交排布的泰伯成像，进而实现二维位移探测，简化了光栅结构，降低了生产成本；同时，光电探测器组采用单个集成探测模块实现二维信号采集和参考零位信号采集，减少了元器件数量，降低了传感器功耗；此外，光电探测器采用泰伯成像原理，基于该光学原理特性，光电探测器具备大安装容差的特点，且可适用于高线密度光栅尺，配合高倍插值细分处理电路可实现纳米级分辨率测量，进而满足多自由度测量、高精度、小体积、低功耗、较大安装容差的应用需求。