一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法

本发明公开了一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法，涉及精密测量与检测技术领域，包括：S1：采集光电干涉信号并下变频滤波获取复包络信号；S2：基于复包络信号累积相位，计算初步位移观测值；S3：采集设备信息构建传感数据集，生成多源误差状态向量；S4：利用扩展卡尔曼滤波剔除误差生成净化位移值；S5：根据实时环境参数计算空气折射率，并结合参考空气折射率对净化位移值进行补偿，生成校正位移值。通过多源传感器融合、卡尔曼滤波误差估计及空气折射率补偿，实现工业机械臂末端位移的高精度、稳定性和鲁棒性测量。