一种气相沉积炉的温度检测装置

本发明涉及一种气相沉积炉的温度检测装置，涉及温度检测技术领域，其包括检测架和转动盘，所述检测架用于安装在气相沉积炉内，所述转动盘转动设置在检测架上，所述转动盘设置有若干检测杆，所述检测杆设置有用于检测温度的温度传感器，所述检测架设置有转动组件，所述转动组件用于带动转动盘转动。本申请具有提升温度检测的精确度的效果。