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기록
测试垂直腔面射型激光器的系统及方法
발명유효
20청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张容嵻; 黄光明
IPC 분류
G01M 11/02 (2006.01)H01S 5/00 (2006.01)G01J 1/42 (2006.01)
一种包含第一分光镜、第二分光镜、第一偏光片、第二偏光片、第一光传感器、第二光传感器以及第三光传感器的测试垂直腔面射型激光器芯片的系统。所述第一分光镜用于将垂直腔面射型激光器芯片的发射光束分为第一光束及第二光束。所述第二分光镜用于将所述第二光束分为第三光束及第四光束。所述第一偏光片具有第一极化方向以供所述第三光束通过。所述第二偏光片具有第二极化方向以供所述第四光束通过。所述第一光传感器用于接收所述第一光束。所述第二光传感器用于接收极化后第三光束。所述第三光传感器用于接收极化后第四光束。