검색으로 돌아가기
기록
硅片金刚线测试平台及测试方法
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
蒲天; 陈强; 庄大明; 洪波; 尹泉; 朱琪; 李十中; 胡博文; 张慧发; 彭云; 张建安; 安籽龙
IPC 분류
G01N 3/58 (2006.01)G01N 3/02 (2006.01)
本发明属于金刚线生产技术领域,尤其涉及金刚线测试;本发明提供了一种硅片金刚线测试平台,包括:基座及设于其上的侧板与托台,托台与侧板相对设置以夹装硅棒;固定于基座上并沿托台中心线对称分布的左立柱与右立柱;驱动组件,其包括:电缸,其固定在左立柱上,电缸的输出端设置有第一滑块;一对定滑轮,其设置在侧板上;张力维持件,其滑动设置在右立柱上;以及,金刚线,其固定端与右立柱连接,其移动端与第一滑块连接,且绕经张力维持件及定滑轮后与硅棒相抵;本发明通过设置电缸,让单线的金刚线反复移动,实现切割,并通过设置动滑轮,在切割过程中让其利用其自身重力,省去了复杂的主动张紧机构,让测试过程中张力的持续恒定,显著提高了测试数据的准确性和可重复性。