检查系统和检查的方法

提供了一种检查系统和检查的方法，所述检查系统包括：台，设置在由第一方向和与第一方向相交的第二方向限定的平面上，其中，台关于平行于第一方向的轴是可旋转的，并且样本位于台上；对准器，在样本位于台上之前或之后对准样本；检查器，将激光照射到样本的检测位置；以及控制器，基于样本的检测位置对准台。