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避免影像模糊的半导体影像检测方法

발명유효
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§ Ⅰ

개요

IPC 분류

G01N 21/88 (2006.01)

本发明提供了一种避免影像模糊的半导体影像检测方法,包括下列步骤:一影像撷取单元的一光线通过一隔离罩的一腔室并且照射在一待测物上,以撷取该待测物的影像。因此,因为隔离罩能够将影像撷取单元的光线与待测物周围的空气隔离,所以影像撷取单元的光线不会受到空气流动的影响而产生波动,从而能够提升影像的清晰度,避免影像模糊。