基于光传输的扫描电子显微镜成像系统与方法

本发明提供了一种基于光传输的扫描电子显微镜成像系统与方法。其中基于光传输的扫描电子显微镜成像系统包括：纳米光子闪烁体，配置成接收扫描电子显微镜的电子束扫描样品产生的二次电子并将其转换为预设波长的光子；单光子雪崩二极管阵列，与纳米光子闪烁体耦合，配置成探测光子并将其转换为雪崩脉冲信号；信号处理单元，与单光子雪崩二极管阵列电连接，配置成对雪崩脉冲信号进行处理并输出电信号；光通信模块，与信号处理单元电连接，配置成将电信号调制为光信号，并通过光传输介质传输光信号。本发明的方案，将二次电子转换为光子进行成像，利用光子在传输过程中不易受电磁干扰的特性，提高了成像质量和稳定性，图像分辨率和信噪比显著提升。