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기록
一种MEMS基气体检测组件和嗅觉传感器
발명유효
6조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
陈新乐; 孙铭; 朱晓东; 孙雨浩; 孙克; 沈文锋
IPC 분류
G01N 27/12 (2006.01)B01D 53/26 (2006.01)B01D 53/22 (2006.01)B01D 53/04 (2006.01)B01D 53/82 (2006.01)B01D 53/52 (2006.01)B01D 53/40 (2006.01)B01D 46/64 (2022.01)B01D 46/54 (2006.01)G01N 27/22 (2006.01)G01N 1/22 (2006.01)G01N 1/34 (2006.01)G01N 1/40 (2006.01)G01D 21/02 (2006.01)
本申请涉及气体检测技术领域，提供了一种MEMS基气体检测组件和嗅觉传感器，能够解决检测结果易被空气温湿度干扰，检测精度差的技术问题。MEMS基气体检测组件包括第一电路板；MEMS气体传感阵列，包括多个MEMS气体敏感元件，MEMS气体敏感元件对目标气体具有交叉敏感性，MEMS气体敏感元件以表面贴装方式集成于第一电路板，MEMS气体敏感元件用于输出响应信号；MEMS温湿度传感器，设于第一电路板，MEMS温湿度传感器用于检测温度值信息和湿度值信息，温度值信息和湿度值信息用于对响应信号进行补偿；其中，多个MEMS气体敏感元件呈矩阵分布，或多个MEMS气体敏感元件呈环形分布。