一种弧判断电路及弧判断方法、灭弧方法

本发明提供了一种弧判断电路及弧判断方法、灭弧方法，涉及溅射镀膜技术领域。弧判断电路包括依次通信连接的采样电路、比较电路和控制器；所述采样电路用于采集溅射镀膜设备的溅射电源输出的电信号；所述比较电路用于分别对所述电信号与不同电平基准信号进行比较，生成第一比较输出信号、第二比较输出信号；所述控制器用于根据所述第一比较输出信号的突变边沿和所述第二比较输出信号的突变边沿之间的时间间隔，判断所述溅射镀膜设备是否发生电弧。本发明基于模拟比较电路与数字控制器等电路结构的协同设计，具有结构简单、易于实现、低成本等特点，能够及时、准确地检测溅射镀膜设备电弧发生情况。