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기록
半导体器件的可靠性筛选方法
발명유효
3조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张振烨; 王磊; 张雨田
IPC 분류
G01R 31/26 (2020.01)G01R 31/00 (2006.01)G01R 31/28 (2006.01)
本发明提供了一种半导体器件的可靠性筛选方法,包括:提供半导体器件;在LDO输出的标准电压的基础上,降低LDO的输出电压,在标准时钟频率的基础上,降低时钟的频率,对弱擦的半导体器件依次进行擦除操作、写操作和读操作,筛选出不符合规格的半导体器件;在低压差线性稳压器输出的标准电压的基础上,提高低压差线性稳压器的输出电压,在标准时钟频率的基础上,降低时钟的频率,对弱写的半导体器件依次进行擦除操作、写操作和读操作,筛选出不符合规格的半导体器件;对步骤S2和S3筛选出的符合规格的半导体器件进行多次烘烤,再测试半导体器件的可靠性参数。本发明有效筛选出了弱擦或者弱写的半导体器件中不符合规格的半导体器件。