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一种多路DMD的拼接色差优化方法
발명유효
6조회수
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§ Ⅰ
개요
발명자
白静洁; 张显峰; 张雷
IPC 분류
G03F 7/20 (2006.01)
本发明涉及一种多路DMD的拼接色差优化方法,依据DMD的参数、DMD的倾斜角度、投影物镜的放大倍率,计算每个DMD的拼接浮动宽度,依据DMD的倾斜角度和每个DMD的拼接浮动宽度对应的像素值生成对应的第一布尔矩阵和第二布尔矩阵,将第一布尔矩阵和第二布尔矩阵进行并运算获得第三布尔矩阵,每个第三布尔矩阵转化成对应的第三单色位图,每个DMD调用对应的第三单色位图以同时控制拼接区域和非拼接区域的微镜单元开闭,使拼接区域只进行一次曝光,同时减小拼接区域和非拼接区域的曝光的能量差异,实现全局能量控制,从而解决拼接区域及非拼接区域的色差问题。