粗微架构的磁悬浮式运动台

本申请涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种粗微架构的磁悬浮式运动台，包括平衡质量组件、粗动组件以及微动组件；其中，粗动组件安装于平衡质量组件上，微动组件安装于粗动组件上；平衡质量组件包括第一支撑构件、第一竖直浮动轴承、两个平衡支撑构件以及第一驱动装置，粗动组件包括支撑框架、第二竖直浮动轴承、第二水平浮动轴承以及第二驱动装置，微动组件包括承版台以及安装于支撑框架的内壁的X向驱动装置、Y向驱动装置以及Z向驱动装置。可见，运动部件分为微动组件和粗动组件，结合平衡质量的新型架构形式，微动组件实现纳米级精度的定位运动，粗动组件实现大行程微米级的运动，平衡质量组件平衡掉运动组件带来的运动冲击。