一种高通量真空紫外光源装置

本发明公开了一种高通量真空紫外光源装置，属于高端分析仪器部件技术领域，包括射频功率放大激发机构、散热机构、放电介质气体气路机构、真空密封机构和发光机构，射频功率放大激发机构与发光机构相连接，发光机构一端与放电介质气体气路机构相连接，另一端与真空密封机构相连接，放电介质气体气路机构的进气管和出气管穿过散热机构。本发明采用上述的一种高通量真空紫外光源装置，该装置兼具体积小、光通量高、输出稳定、寿命长等优点，可广泛应用于质谱分析、光谱分析、光电子能谱分析、色谱光电离检测器以及基础物理研究等领域，满足了高端分析仪器对高性能真空紫外光源的需求。