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기록
声表面波谐振器与半导体量子点耦合器件及其制备方法
발명유효
2조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张拙之; 王奕博; 宋骧骧; 井方铭; 郭国平
IPC 분류
H03H 9/25 (2006.01)H03H 9/145 (2006.01)H10H 20/811 (2025.01)H10N 39/00 (2026.01)H03H 3/08 (2006.01)
本公开提供了一种声表面波谐振器与半导体量子点耦合器件及其制备方法,具体包括:第一衬底第一表面上的声表面波谐振器;第二衬底第二表面上的第一半导体量子点和第二半导体量子点,第一衬底的第一表面面向第二衬底的第二表面;第一共面波导传输线和第二共面波导传输线设置于第一衬底第一表面上,电连接到第一换能器与第二换能器;第三共面波导传输线和第四共面波导传输线设置于第二衬底第二表面上,电连接到第一半导体量子点与第二半导体量子点的量子点电极;第一共面波导传输线和第三共面波导传输线、第二共面波导传输线和第四共面波导传输线彼此耦合,使得第一半导体量子点和第二半导体量子点的量子比特通过声表面波谐振器耦合。