一种用于空间惯性传感器的静电驱动系统及静电驱动系统中电压基准噪声抑制方法

一种用于空间惯性传感器的静电驱动系统及静电驱动系统中电压基准噪声抑制方法，它属于空间惯性传感器检验质量低噪声控制技术领域。本发明解决了现有方法无法对电压基准的固有噪声、温漂噪声和负载调节噪声进行综合抑制的问题。本发明利用多个电压基准的并联结构来抑制电压基准的固有噪声，并在多个电压基准并联结构的基础上，通过使并联的多个电压基准的温度系数代数和尽量小，以降低电压基准对环境温度的敏感性，达到抑制温度漂移引起的噪声的目的。同时设计差分缓冲隔离结构来抑制DAC模块的可变输出导致的负载调节噪声，进而削弱负载阻抗变化导致的电压基准输出波动。本发明方法可以应用于空间惯性传感器的静电驱动系统中电压基准的噪声抑制。