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기록
薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法及显示器
발명유효
1조회수
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张猛; 王彬; 何鸣南; 闫岩
IPC 분류
H10D 30/67 (2025.01)H10D 30/01 (2025.01)H10D 86/60 (2025.01)
本申请公开了一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法及显示器,属于薄膜晶体管技术领域。所述薄膜晶体管包括:衬底;绝缘层,所述绝缘层设置于所述衬底的一面;有源层,所述有源层设置于所述绝缘层背离所述衬底的一面;源极和漏极,所述源极和所述漏极设置于所述有源层背离所述绝缘层的一面,所述源极和所述漏极之间形成沟道区域;载流子补充层,所述载流子补充层位于所述沟道区域且与所述有源层接触,所述载流子补充层与所述源极和所述漏极间隔开,所述载流子补充层的材料包括金属氧化物或金属。所述薄膜晶体管通过在沟道区域引入向有源层补充载流子的载流子补充层,显著提高薄膜晶体管的迁移率,能够满足高分辨率显示器不断增长的需求。