干燥装置以及半导体清洗设备

本发明提供一种干燥装置以及半导体清洗设备。其中，干燥装置包括吹气部件，用于向第一方向吹气以对待干燥件进行干燥；在与第一方向垂直的第二方向上，吹气部件具有第一端和第二端；吹气部件具有导气腔，导气腔与吹扫气源连通；吹气部件表面设置有与导气腔连通的出气口，出气口自吹气部件的第一端延伸至第二端，以使吹扫气体可以通过长条形的出气口吹出，从而使吹扫气流沿出气口的长度方向分布均匀，从而实现均匀的吹扫效果，进而使对待干燥件干燥效果均匀。