一种晶圆键合结构及其形成方法

本申请提供一种晶圆键合结构及其形成方法，所述方法包括：提供第一晶圆结构，所述第一晶圆结构包括第一晶圆和第一键合层；对所述第一键合层的表面进行掺杂离子注入，使所述第一键合层表面形成第二键合层；对所述第二键合层的表面进行氢离子注入，使所述第二键合层的表面形成氢离子层；对所述氢离子层以及第二键合层进行等离子体轰击，以使所述氢离子层和所述第二键合层中形成所述掺杂离子的悬挂键；提供羟基源，使所述悬挂键表面吸附羟基；将两个第一晶圆结构中的氢离子层对准，并进行预键合；进行第二退火处理，实现两个第一晶圆结构的键合。所述键合方法提高了键合强度。