基板支撑装置

本发明涉及基板支撑装置，即使是基板载置于从既定的位置偏移的位置时，也能够将该基板导引至既定的位置，且将基板支撑在既定的位置。基板支撑装置具备：多个支撑体，可将基板支撑在既定的基板支撑位置；支撑体分别具有可与基板的侧面接触而支撑基板的至少一个接触面，并将旋转轴作为中心进行旋转，从接触面位于比支撑面更靠上方处的上方位置到达支撑基板的支撑位置；在支撑体从上方位置移动至支撑位置的期间，会使至少一个接触面一边与载置于从基板支撑位置偏移的位置的基板接触而一边将基板导引至基板支撑位置。