深沟槽隔离结构及其制作方法

本发明提供一种深沟槽隔离结构及其制作方法，包括衬底及由深入衬底的隔离沟槽隔离形成的条形结构，条形结构包括柱体及柱体两侧交错设置的凸起。本发明改变原有硅柱的结构设计，在硅柱的两侧间隔设置凸起，凸起相当于增加了DTI硅柱的宽度，避免硅柱倒掉或侧倾；进一步的，本发明通过控制单侧凸起高度与隔离热氧化层厚度的关系，确保热氧化过程中凸起部分充分氧化，在避免硅柱倒掉或侧倾时，不影响后续填充材料填充隔离沟槽。另外，本发明提供的深沟槽隔离结构，不改变原有设计的space尺寸，不增加DTI硅柱的尺寸，有利于减小隔离结构总尺寸。