具有提供电连接点的致动器定子的MEMS封装

MEMS器件设置有提供电连接点的致动器定子。MEMS器件包括配电基板和位于其上方的致动器定子。致动器定子具有底板和从底板向上延伸的外框架。MEMS器件包括设置在外部框架上并且在配电基板上方的定子焊盘。MEMS器件还包括悬置在底板上方、在外框架内的致动器转子，其上安装有传感器。引线键合互连将传感器电联接到定子焊盘。在一些实施例中，外框架包括延伸穿过其中的通孔，该通孔将定子焊盘与配电基板电连接，从而实现传感器和配电基板之间的电连接。在一些实施例中，第二引线键合互连电连接定子焊盘和基板。