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기록
种子激光器系统
발명유효
7조회수
15청구항 · 7 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
H·M·米尔德; B·J·勒费伯; S·A·埃尔哈德; G·克劳斯
IPC 분류
H01S 3/00 (2006.01)H01S 3/10 (2006.01)H01S 3/107 (2006.01)H01S 3/23 (2006.01)H01S 3/223 (2006.01)
一种用于EUV辐射源的种子激光器系统，所述种子激光器系统包括：激光器，所述激光器被配置成发射脉冲式激光束；至少一个电光调制器，所述至少一个电光调制器位于所述激光器的下游；以及光学放大器，所述光学放大器位于所述至少一个电光调制器的下游，其中，所述种子激光器系统还包括位于所述光学放大器下游的附加电光调制器。