一种兼容晶圆粗精磨与多规格尺寸晶圆片工艺的子母轴加工方法

本发明公开了一种兼容晶圆粗精磨与多规格尺寸晶圆片工艺的子母轴加工方法，本发明涉及减薄机技术领域。包括以下步骤：步骤一：砂轮选择步骤，根据加工要求，选择普通加工用砂轮或者Taiko加工用砂轮安装在外壳底部；步骤二：粗磨步骤，控制粗磨工件向下运动，粗磨工件带动粗磨砂轮转动对晶圆片进行粗磨处理；步骤三：精磨步骤，控制粗磨工件回到初始高度，精磨工件带动精磨砂轮转动对晶圆片进行精磨处理。所述步骤一中的外壳包括检测齿轮和子母轴组件，且所述检测齿轮与子母轴组件连接。母轴部分，所述母轴部分与检测齿轮连接，该兼容晶圆粗精磨与多规格尺寸晶圆片工艺的子母轴加工方法，达到了提高设备的使用效率的目的。