一种磁悬浮工作台结构及其控制方法

本发明公开了一种六自由度磁悬浮工作台结构及其控制方法，属于磁悬浮工作台技术领域，旨在解决传统工作台行程难扩展、建模精度低、线圈边端效应影响大的问题；磁悬浮工作台结构包括：可拼接PCB线圈阵列的定子、对称式二维Halbach永磁体阵列的动子、带信息融合功能的数据处理模块，及含H桥驱动与实时控制系统；控制方法通过建立高精度电磁力模型，划分磁场区域并引入补偿系数修正边端效应，采用基于最小二乘的伪逆法解耦计算驱动电流大小，结合电流计算结果实现电流的饱和抑制与线圈的动态选通；本发明可应用于精密加工、微纳米制造的领域，实现高精度长行程运动控制。