碳化硅粉料及其制备方法、碳化硅粉料合成组件及装置

本申请涉及碳化硅生长技术领域，公开了碳化硅粉料及其制备方法、碳化硅粉料合成组件及装置，该碳化硅粉料的制备方法包括：将硅粉和碳粉进行混合，得到硅碳混合物；在持续通入甲烷气体的条件下，使所述硅碳混合物进行高温合成，得到碳化硅粉料。该制备方法操作简单，且制备得到的碳化硅粉料中的杂质含量可低于0.02ppm。