一种石墨舟的脱氟方法

本发明公开了一种石墨舟的脱氟方法，包括以下步骤：将待处理石墨舟置于管式炉内，抽真空至底压，将管式炉内的温度升温至600℃以上，向管式炉内通入氮气对石墨舟进行吹扫，将石墨舟从管式炉内取出，冷却，重复上述的步骤，完成对石墨舟的脱氟处理。本发明脱氟方法，不仅能快速脱附石墨舟页内的含氟气体分子，而且能快速且彻底的分解石墨孔隙中的含氟聚合物，处理后，石墨舟的舟漏率明显降低至报警卡控值以下，上线前几轮漏率也从70mtorr以上降低至50mtorr以下，镀舟管道尾排易堵塞的问题明显改善，维保周期从3天～7天延长至15天～30天；同时，节省了大量因为漏率报警而导致的没必要的进出舟时间，提升了机台的产能。