临时键合胶及其应用

本发明公开了一种临时键合胶及其应用。临时键合胶包括聚酰亚胺，所述聚酰亚胺包括大共轭单元，所述大共轭单元的共轭原子数≥40，所述大共轭单元包括二苯醚基、芴基或茚满结构单元中的至少一种；所述聚酰亚胺还包括苯并三唑基基团、硝基基团中的至少一种。本发明通过聚酰亚胺结构上的改进，将临时键合胶用于晶圆加工中，使临时键合胶在目标解键合波长355nm处的吸光度显著增大，从而显著降低阈值解键合能量，有望减少晶圆出现翘曲、裂纹，或表面器件失效风险，提高激光器寿命及解键合效率。