一种薄膜沉积设备、沉积方法及一种介质

本发明涉及一种薄膜沉积设备及一种薄膜沉积方法。该薄膜沉积设备包括反应腔室、第一气源、第二气源、检测器和抽气泵。该反应腔室用于容纳晶圆。该第一气源用于向反应腔室提供第一工艺气体。该第二气源用于向反应腔室提供第二工艺气体。该检测器的第一端经由第一管道连接第一气源及第二气源，第二端经由第二管道连接反应腔室，其中，检测器至少用于检测流进第二管道的气体种类。该抽气泵经由第三管道连接第二管道，用于在第二管道中含有非目标种类的气体时，从第二管道中抽气。