一种稀土掺杂氧化镓薄膜、其制备方法及在光电集成器件中的应用

本发明公开一种稀土掺杂氧化镓薄膜、其制备方法及在光电集成器件中的应用，基于GaO的日盲紫外探测器在火焰和电弧检测领域具有重要应用潜力，但器件性能受高暗电流的限制。同时，集成多个光电功能有助于减小器件尺寸并提高反馈速度。稀土掺杂是一种有效优化策略，可提高光电器件性能并赋予电致发光功能。在此，开发了一种有机前驱体分解策略合成稀土掺杂GaO（GaO:RE）薄膜，并一体构建了GaO:RE/SiO/p‑Si异质结器件。在254 nm光照射下，器件响应度、探测度、响应时间分别为5.25 × 10mA W、3.67 × 10Jones、50 μs。器件在反向电压下有稀土相关的电致发光。该器件集成了光电探测和电致发光，可实现紫外信号可视化，并具有高度可设计性。