一种离子辅助气溶胶沉积陶瓷薄膜涂层的制备方法

本发明涉及一种离子辅助气溶胶沉积陶瓷薄膜涂层的制备方法，所述制备方法使用氩气与氦气的混合气体作为载流气体和电离气体，He原子质量较轻，轻质气体分子运动速度更快，能更有效地将动量传递给待沉积的陶瓷颗粒，有利于提高颗粒的加速效果，使高速颗粒撞击基材的瞬间发生形变，形成致密的结构；而氩气是较重的惰性气体，Ar产生的Ar对涂层的夯实作用较好，提升涂层的致密化，经实验验证，本发明所述方法制备得到的陶瓷薄膜涂层孔隙率小于0.1%，与基材的结合强度为25.6‑30.6MPa，硬度为983.7‑1055.2N/mm，产生相互促进的效果，有助于颗粒界面的融合、致密化。