一种调节单晶热场高度的方法及执行系统

本发明提供的一种调节单晶热场高度的方法及执行系统，涉及单晶硅制造技术领域。该调节单晶热场高度的方法通过在炉底铺设软毡，并利用由母垫块和子垫块组成的垫块组合单元支撑中下保温筒，将热场温度梯度需求转化为具体的机械支撑高度，安装时通过增减子垫块数量进行水平度微调，确保热场垂直，在晶体生长过程中，根据实时监测的晶棒质量参数动态调整垫块高度，形成工艺闭环。执行系统包含热场主体、软毡及模块化垫块组合。本发明实现了热场高度的精确、灵活调节，简化了操作，有效改善了热场温度分布，提升了单晶硅的质量和均匀性。