单晶炉用冷却水稳压控制装置及冷却水循环系统

该发明提供一种单晶炉用冷却水稳压控制装置，包括稳压调节阀、控制器和流量传感器，稳压调节阀和流量传感器依次安装在连接单晶炉的进水管上，控制器分别与稳压调节阀和流量传感器电性连接，控制器接收流量传感器的信号，获取该进水管中的当前水流量值，并根据所获取的当前水流量值对应的控制稳压调节阀增加或减小其开度，控制器通过流量传感器可实时监测进水管中的水流量，并根据进水管中的水流量值，实时动态控制稳压调节阀的开度，减小进水管中的水流量波动，可实现对进入单晶炉中的冷却水实时动态稳压调节，有效降低因冷却水流量波动造成对晶体生长的不良影响，提高单晶炉运行的安全性和拉晶质量的稳定性。