调节阀、质量流量控制器及其流量控制方法

本发明提供一种调节阀、质量流量控制器及其流量控制方法，该调节阀包括阀体组件、阀芯组件和位置检测装置，其中，阀体组件具有阀口；阀芯组件包括阀芯结构，阀芯结构具有密封面，阀芯结构被设置为能够使密封面相对于阀体组件沿靠近或远离阀口的方向移动，以打开或关闭阀口，以及调节流体流经阀口的流量；位置检测装置用于检测密封面相对于阀口的位置。本方案对流量控制的精度和重复性更高，可以满足半导体高端制程对于控制精度和重复性的需求。