一种基于拓扑能谷光子晶体的硅基片上干涉仪

本发明公开了一种基于拓扑能谷光子晶体的硅基片上干涉仪，属于微纳与集成光电子器件技术领域，包括：光子晶体平板、第一干涉臂和第二干涉臂，其中所述第一干涉臂与第二干涉臂均通过光学波导与光子晶体平板连接且设置在同一侧，在所述光子晶体平板远离第一干涉臂和第二干涉臂的一侧设置有光输入端口，在所述光子晶体平板与第一干涉臂和第二干涉臂相同的一侧设置有光输出端口；所述第一干涉臂和第二干涉臂的末端相对设置有反射器。本申请与传统技术相比，具有设计原理简单，设计思路新颖、占地面积小、工作带宽大等一系列突出优点，可以用于片上测距等场景，有望为高密度光子集成芯片与大规模片上光互联的实现提供一种新的实现思路与技术路线。