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一种低成本晶圆测试方法

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

출원인

南京伟测半导体科技有限公司; 深圳伟测半导体科技有限公司

발명자

周彦杰; 杨栓; 李艳磊; 胡晋铭

IPC 분류

G01R 31/28 (2006.01)

本申请提供了一种低成本晶圆测试方法。本申请通过创新的测试方法,即在测试过程中将多颗实际die合并为一颗测试die,有效减少了探针台需要识别的gross die总数,从而使得现有适配8寸晶圆的探针台能够测试超多gross die的8寸晶圆,避免了使用高价的12寸晶圆探针台,降低了晶圆测试的成本。